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    場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡

    • 更新時間2024-12-24
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      ‌場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)主要用于高分辨率的表面形貌觀察和微區(qū)成分分析‌。它具有高分辨率,能夠觀察納米尺度的樣品表面形貌,并通過二次電子成像原理獲得忠實原貌的立體感強的圖像‌。
     
      FESEM可以用于各種固態(tài)樣品的表面形貌觀察,包括生物樣品如組織、細胞、微生物以及生物大分子等‌。此外,F(xiàn)ESEM還配備高性能X射線能譜儀,能夠進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌和化學組分綜合分析能力‌。
     
      場發(fā)射掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像原理,對樣品表面進行放大觀察。其使用場發(fā)射電子槍作為電子源,通過強電場使金屬的電子脫離束縛,形成高亮度、高相干性的電子束。電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌進行聚焦、偏轉(zhuǎn)和整形,形成一個細小的探針。掃描線圈控制電子束在樣品表面進行逐行掃描,與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號。這些信號被探測器收集、放大并處理后,生成反映樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和成分信息的圖像。
     
      維護與保養(yǎng)
     
      燈絲維護:燈絲是場發(fā)射掃描電子顯微鏡的關(guān)鍵部件之一,其使用壽命有限。正常使用情況下,燈絲使用時間約為10000~20000小時。在使用過程中,應(yīng)注意觀察燈絲的狀態(tài),及時更換老化的燈絲。燈絲更換需專業(yè)人士上門服務(wù)。
     
      真空系統(tǒng)維護:真空系統(tǒng)的性能對場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率和穩(wěn)定性有著重要影響。應(yīng)定期檢查真空泵、管道、真空閥門等部件的性能,確保其正常工作。同時,應(yīng)定期測量真空值,確保系統(tǒng)真空度滿足要求。
     
      日常清潔與保養(yǎng):定期對場發(fā)射掃描電子顯微鏡進行清潔和保養(yǎng),包括清潔樣品室、探測器、鏡頭等部件,以及檢查電氣連接和機械部件的緊固情況。
     
      綜上所述,場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和好的性能特點。在使用過程中,應(yīng)注意滿足其使用環(huán)境要求,并進行適當?shù)木S護與保養(yǎng),以確保其正常工作并延長使用壽命。

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